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    Mechanics of silicon nitride thin-film stressors on a transistor-like geometry

    Mechanics of silicon nitride thin-film stressors on a transistor-like geometry by S. Reboh, P. Morin, M. J. Hÿtch, F. Houdellier, A. Claverie

    Published 2013-10-01
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    Published 2004-04-01
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