Generation of Coherent sub-20 nm XUV Radiation at 78 MHz via Cavity-Based HHG by Tünnermann A., Udem Th., Limpert J., Rußbüldt P., Carstens H., Weitenberg J., Esser D., Eidam T., Holzberger S., Pupeza I., Hänsch T.W., Krausz F., Fill E.

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