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    Optical reflectivity and hardness improvement of hafnium nitride films via tantalum alloying

    Optical reflectivity and hardness improvement of hafnium nitride films via tantalum alloying von Gu, Zhiqing, Huang, Haihua, Zhang, Sam, Wang, Xiaoyi, Gao, Jing, Zhao, Lei, Zheng, Weitao, Hu, Chaoquan

    Veröffentlicht 2017
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    Journal Article

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