Qubit-Compatible Substrates With Superconducting Through-Silicon Vias by K. Grigoras, N. Yurttagul, J.-P. Kaikkonen, E. T. Mannila, P. Eskelinen, D. P. Lozano, H.-X. Li, M. Rommel, D. Shiri, N. Tiencken, S. Simbierowicz, A. Ronzani, J. Hatinen, D. Datta, V. Vesterinen, L. Gronberg, J. Biznarova, A. Fadavi Roudsari, S. Kosen, A. Osman, M. Prunnila, J. Hassel, J. Bylander, J. Govenius

Get full text