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    Effects of argon/nitrogen sputtering gas on the microstructural, crystallographic and piezoelectric properties of AlN thin films

    Effects of argon/nitrogen sputtering gas on the microstructural, crystallographic and piezoelectric properties of AlN thin films par Abd Samad, Muhammad Izzuddin, Mohd Noor, Mimiwaty, Nayan, Nafarizal, Abu Bakar, Ahmad Shuhaimi, Mansor, Marwan, Mahmood Zuhdi, Ahmad Wafi, Hamzah, Azrul Azlan, Latif, Rhonira

    Publié 2023
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