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Capas de SiGe policristalino hidrogenado y su aplicación en transistores de película delgada by Rodríguez, A., Rodríguez, T., Sangrador, J., San Andrés, E., Mártil, I.
Published 2004-04-01
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Procesos de oxidación de Si mediante plasma de resonancia ciclotrónica de electrones by San Andrés, E., del Prado, A., Blázquez, A. J., Mártil, I., González-Díaz, G.
Published 2004-04-01
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