Polymers for high technology : electronics and photonics /

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Bowden, Murrae J., 1943-, Turner, S. Richard, 1942-
Format:
Veröffentlicht: Washington, D C : American Chemical Society, 1987
Schlagworte:
Polymers
Photoresists
Microlithography
Microelectronics

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