Reliability of MEMS /

Reliability of MEMS /

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Tabata, Osamu, 1956-, Tsuchiya, Toshiyuki
Format:
Sprache:eng
Veröffentlicht: Weinheim : Wiley-VCH, 2008
Schlagworte:
Microelectromechanical systems

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