X-ray metrology in semiconductor manufacturing /

X-ray metrology in semiconductor manufacturing /

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Detalhes bibliográficos
Principais autores: Bowen, D. Keith (David Keith), 1940-, Tanner, B. K. (Brian Keith)
Formato:
Idioma:eng
Publicado em: Boca Raton, FL : CRC/Taylor & Francis, 2006
Assuntos:
Semiconductors
Integrated circuits
Semiconductor wafers
X-rays
Descrição
Resumo:16

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