MEMS : design and fabrication /
16
Autor principal: | |
---|---|
Format: | |
Idioma: | eng |
Publicat: |
Boca Raton, FL : CRC/Taylor & Francis,
2006
|
Matèries: |
16
Autor principal: | |
---|---|
Format: | |
Idioma: | eng |
Publicat: |
Boca Raton, FL : CRC/Taylor & Francis,
2006
|
Matèries: |