Optical micro- and nanometrology in microsystems technology : 5-7 April 2006, Strasbourg, France /

40

Bibliografiset tiedot
Päätekijät: Gorecki, Christophe, Asundi, Amand K., Osten, Wolfgang, The International Society for Optical Engineering
Aineistotyyppi:
Kieli:eng
Julkaistu: Bellingham, WA : SPIE Press, 2006
Aiheet:

Samankaltaisia teoksia