Lindroos, V. (2010). Handbook of silicon based MEMS materials and technologies. Burlington, MA : William Andrew.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումLindroos, Veikko. Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies. Burlington, MA : William Andrew, 2010.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումLindroos, Veikko. Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies. Burlington, MA : William Andrew, 2010.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.