Handbook of silicon based MEMS materials and technologies /

Handbook of silicon based MEMS materials and technologies /

16

Podrobná bibliografie
Hlavní autor:	Lindroos, Veikko
Médium:
Jazyk:	eng
Vydáno:	Burlington, MA : William Andrew, 2010
Témata:	Microelectromechanical systems Silicon

Podobné jednotky

The MEMS handbook /
Autor: Gad-el-Hak, Mohamed, 1945-
Vydáno: (2006)

System-level modeling of MEMS /
Autor: Bechtold, T. (Tamara), a další
Vydáno: (2013)

Electroceramic-based MEMS : fabrication-technology and applications /
Autor: Setter, N. (Nava), 1949-
Vydáno: (2005)

Advances in multiphysics simulation and experimental testing of MEMS /
Autor: Frangi, Attilio
Vydáno: (2008)

MEMS /
Autor: 333975 Mahalik, Nitaigour Premchand
Vydáno: (2007)

Electromechanics and MEMS /
Autor: Jones, Thomas B., a další
Vydáno: (2013)

Mems reliability /
Autor: 515555 Hartzell, Allyson L., a další
Vydáno: (2011)

Foundations of MEMS /
Autor: Liu, Chang, Ph.D.
Vydáno: (c201)

Foundations of MEMS /
Autor: 355913 Liu, Chang
Vydáno: (2006)

Reliability of MEMS /
Autor: Tabata, Osamu, 1956-, a další
Vydáno: (2008)

Silicon wafer bonding technology : for VLSI and MEMS applications /
Autor: Iyer, Subramanian S., a další
Vydáno: (2002)

MEMS cost analysis : from laboratory to industry /
Autor: 585433 Lawes, Ronald A.
Vydáno: (2014)

Microcontroller based iMEMS-Gyroscope decoder /
Autor: 374200 Lim, Chiah Chin
Vydáno: (2006)

Modeling MEMS and NEMS /
Autor: 395608 Pelesko, John A., a další
Vydáno: (2003)

A readout circuit for MEMS based moisture sensor /
Autor: Hasmayadi Abdul Majid, 1977-, a další
Vydáno: (2011)

Micro electro mechanical systems (MEMS) : technology, fabrication processes, and applications /
Autor: Ekwall, Britt, a další
Vydáno: (c201)

Scaling issues and design of MEMS /
Autor: 303337 Baglio, Salvatore, a další
Vydáno: (2007)

MEMS for automotive and aerospace applications /
Autor: Kraft, Michael, a další
Vydáno: (c201)

MEMS/NEMS : handbook techniques and applications /
Autor: Leondes, Cornelius T.
Vydáno: (2006)

MEMS and NEMS : systems, devices, and structures /
Autor: 290823 Lyshevski, Sergey Edward
Vydáno: (2002)

Post-processing techniques for integrated MEMS /
Autor: 303253 Sedky, Sherif
Vydáno: (2006)

Analysis and design principles of MEMS devices /
Autor: 443945 Bao, Min-Hang
Vydáno: (2005)

A readout circuit for MEMS based moisture sensor [electronic resource] /
Autor: Hasmayadi Abdul Majid, 1977-
Vydáno: (2011)

Preparation of Porous Silicon by Electrochemical Etching in the Fabrication of a Solar Cell
Autor: Magentharau, Adin Naraina
Vydáno: (2003)

A guide to hands-on MEMS design and prototyping /
Autor: 531337 Kubby, Joel A.
Vydáno: (2011)

Modelling of MEMS Fabry Perot pressure sensors /
Autor: Nabil Fahmi Azizan, 1988- , author, a další
Vydáno: (2011)

Microengineering, MEMS, and interfacing : a practical guide /
Autor: 353446 Banks, Danny
Vydáno: (2006)

Textile-based micro electro mechanical system (MEMS) accelerometer for pelvic tilt measurement /
Autor: Nik Nur Zuliyana Mohd. Rajdi, 1988-, author, a další
Vydáno: (2012)

Textile-based micro electro mechanical system (MEMS) accelerometer for pelvic tilt measurement /
Autor: Nik Nur Zuliyana Mohd. Rajdi, 1988-, author, a další
Vydáno: (2012)

Analysis of MEMS fabry perot pressure sensor diaphragm /
Autor: Intan Kairunisa Othman, 1989-, author, a další
Vydáno: (2012)

Handbook of MEMS for wireless and mobile applications /
Autor: Uttamchandani, Deepak
Vydáno: (2013)

Design and modeling of a 2x2 MEMs optical switch based on electrostatic actuation /
Autor: 361243 Leow, Cheah Wei, a další
Vydáno: (2001)

Modelling of MEMS Fabry Perot pressure sensors [electronic resource] /
Autor: Nabil Fahmi Azizan, 1988- , author
Vydáno: (2011)

Modelling of microelectromechanical system (MEMS) fabry perot optical tunable filter /
Autor: Muhammad Faiz Rahmat, a další
Vydáno: (2011)

Fast simulation of electro-thermal MEMS : efficient dynamic compact models /
Autor: Bechtold, T. (Tamara), a další
Vydáno: (2007)

Proprioceptive sensing system for therapy assessment using textile-based biomedical micro electro mechanical system (MEMS) /
Autor: Yuen, Aoi Chee, 1988-, author, a další
Vydáno: (2012)

Proprioceptive sensing system for therapy assessment using textile-based biomedical micro electro mechanical system (MEMS) /
Autor: Yuen, Aoi Chee, 1988-, author, a další
Vydáno: (2012)

Basic design of RF switch using MEMS technology /
Autor: 364342 Ahmad Hazry Idrus
Vydáno: (2006)

MEMS : design and fabrication /
Autor: Gad-el-Hak, Mohamed, 1945-
Vydáno: (2006)

MEMS mechanical sensors /
Autor: Beeby, Stephen
Vydáno: (2004)