Handbook of silicon based MEMS materials and technologies /

Handbook of silicon based MEMS materials and technologies /

16

Xehetasun bibliografikoak
Egile nagusia: Lindroos, Veikko
Formatua:
Hizkuntza:eng
Argitaratua: Burlington, MA : William Andrew, 2010
Gaiak:
Microelectromechanical systems
Silicon

Antzeko izenburuak