Handbook of silicon based MEMS materials and technologies /
16
| Autore principale: | |
|---|---|
| Natura: | |
| Lingua: | eng |
| Pubblicazione: |
Burlington, MA : William Andrew,
2010
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| Soggetti: |
16
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| Natura: | |
| Lingua: | eng |
| Pubblicazione: |
Burlington, MA : William Andrew,
2010
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