Handbook of silicon based MEMS materials and technologies /
16
| Үндсэн зохиолч: | |
|---|---|
| Формат: | |
| Хэл сонгох: | eng |
| Хэвлэсэн: |
Burlington, MA : William Andrew,
2010
|
| Нөхцлүүд: |
16
| Үндсэн зохиолч: | |
|---|---|
| Формат: | |
| Хэл сонгох: | eng |
| Хэвлэсэн: |
Burlington, MA : William Andrew,
2010
|
| Нөхцлүүд: |