Handbook of silicon based MEMS materials and technologies /

Handbook of silicon based MEMS materials and technologies /

16

Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman: Lindroos, Veikko
Materialtyp:
Språk:eng
Publicerad: Burlington, MA : William Andrew, 2010
Ämnen:
Microelectromechanical systems
Silicon

Liknande verk