269840 May, G. S., & Sze, S. M. (2004). Fundamentals of semiconductor fabrication. Hoboken, N.J. : John Wiley & Sons.
Chicago-čujuhus (17. p.)269840 May, Gary S., juo S. M. Sze. Fundamentals of Semiconductor Fabrication. Hoboken, N.J. : John Wiley & Sons, 2004.
MLA-čujuhus (9. p.)269840 May, Gary S., juo S. M. Sze. Fundamentals of Semiconductor Fabrication. Hoboken, N.J. : John Wiley & Sons, 2004.
Muitte dárkkistit čujuhemiid riektatvuođa, ovdal go geavahat daid iežat deavsttas.