Comprehensive microsystems /

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Gianchandani, Yogesh B., Tabata, Osamu, 1956-, Zappe, Hans P.
Format:
Sprache:eng
Veröffentlicht: Amsterdam : Elsevier Science, 2008
Schlagworte:
Microelectromechanical systems

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