Introduction to microfabrication /

PSZJBL

Manylion Llyfryddiaeth
Prif Awdur:	221658 Franssila, Sami
Fformat:
Iaith:	eng
Cyhoeddwyd:	Chichester, West Sussex, England ; Hoboken, NJ : John Wiley & Sons, 2010
Pynciau:	Microelectromechanical systems Electronic apparatus and appliances Microfabrication

Introduction to microfabrication / gan 221658 Franssila, Sami

Cyhoeddwyd 2004