Mems reliability /

Includes bibliographical references and index

Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակներ:	515555 Hartzell, Allyson L., Da Silva, Mark G., Shea, Herbert R., Senturia, Stephen D., 1940-
Ձևաչափ:
Լեզու:	eng
Հրապարակվել է:	New York : Springer, 2011
Խորագրեր:	Microelectromechanical systems

Նմանատիպ նյութեր