Mems reliability /

Includes bibliographical references and index

Dettagli Bibliografici
Autori principali:	515555 Hartzell, Allyson L., Da Silva, Mark G., Shea, Herbert R., Senturia, Stephen D., 1940-
Natura:
Lingua:	eng
Pubblicazione:	New York : Springer, 2011
Soggetti:	Microelectromechanical systems

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