Mems reliability /

Includes bibliographical references and index

Bibliografische gegevens
Hoofdauteurs:	515555 Hartzell, Allyson L., Da Silva, Mark G., Shea, Herbert R., Senturia, Stephen D., 1940-
Formaat:
Taal:	eng
Gepubliceerd in:	New York : Springer, 2011
Onderwerpen:	Microelectromechanical systems

Gelijkaardige items