Mems reliability /

Includes bibliographical references and index

Библиографические подробности
Главные авторы:	515555 Hartzell, Allyson L., Da Silva, Mark G., Shea, Herbert R., Senturia, Stephen D., 1940-
Формат:
Язык:	eng
Опубликовано:	New York : Springer, 2011
Предметы:	Microelectromechanical systems

Схожие документы