Modelling of MEMS Fabry Perot pressure sensors /

Modelling of MEMS Fabry Perot pressure sensors /

Project Paper (Sarjana Muda Kejuruteraan (Elektrik - Telekomunikasi)) - Universiti Teknologi Malaysia, 2011

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Nabil Fahmi Azizan, 1988- , author, Nor Hafizah Ngajikin, supervisor, Fakulti Kejuruteraan Elektrik
Format:
Sprache:eng
Veröffentlicht: 2011
Schlagworte:
Microelectromechanical systems

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