Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) /

Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) /

Thesis (Ph.D (Fizik)) - Universiti Teknologi Malaysia, 2004

Bibliographic Details
Main Authors: Putut Marwoto, 1963-, Samsudi Sakrani, supervisor, Bakar Ismail, supervisor, Fakulti Sains
Format:
Language:may
Published: 2004
Subjects:
Chemical vapor deposition
Thin films
Description
Summary:Thesis (Ph.D (Fizik)) - Universiti Teknologi Malaysia, 2004

Similar Items