Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) /
Thesis (Ph.D (Fizik)) - Universiti Teknologi Malaysia, 2004
| Main Authors: | , , , |
|---|---|
| Format: | |
| Language: | may |
| Published: |
2004
|
| Subjects: |
| _version_ | 1826448418992553984 |
|---|---|
| author | Putut Marwoto, 1963- Samsudi Sakrani, supervisor Bakar Ismail, supervisor Fakulti Sains |
| author_facet | Putut Marwoto, 1963- Samsudi Sakrani, supervisor Bakar Ismail, supervisor Fakulti Sains |
| author_sort | Putut Marwoto, 1963- |
| collection | OCEAN |
| description | Thesis (Ph.D (Fizik)) - Universiti Teknologi Malaysia, 2004 |
| first_indexed | 2024-03-05T11:25:39Z |
| format | |
| id | KOHA-OAI-TEST:458589 |
| institution | Universiti Teknologi Malaysia - OCEAN |
| language | may |
| last_indexed | 2024-03-05T11:25:39Z |
| publishDate | 2004 |
| record_format | dspace |
| spelling | KOHA-OAI-TEST:4585892020-12-19T17:16:46ZPembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) / Putut Marwoto, 1963- Samsudi Sakrani, supervisor Bakar Ismail, supervisor Fakulti Sains 2004mayThesis (Ph.D (Fizik)) - Universiti Teknologi Malaysia, 2004Includes bibliographical referencesSPSLChemical vapor depositionThin films |
| spellingShingle | Chemical vapor deposition Thin films Putut Marwoto, 1963- Samsudi Sakrani, supervisor Bakar Ismail, supervisor Fakulti Sains Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) / |
| title | Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) / |
| title_full | Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) / |
| title_fullStr | Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) / |
| title_full_unstemmed | Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) / |
| title_short | Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) / |
| title_sort | pembangunan reaktor dc pecvd dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen a c h |
| topic | Chemical vapor deposition Thin films |
| work_keys_str_mv | AT pututmarwoto1963 pembangunanreaktordcpecvddankajianstrukturfilemtipiskarbonamorfusterhidrogenach AT samsudisakranisupervisor pembangunanreaktordcpecvddankajianstrukturfilemtipiskarbonamorfusterhidrogenach AT bakarismailsupervisor pembangunanreaktordcpecvddankajianstrukturfilemtipiskarbonamorfusterhidrogenach AT fakultisains pembangunanreaktordcpecvddankajianstrukturfilemtipiskarbonamorfusterhidrogenach |