Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) /
Thesis (Ph.D (Fizik)) - Universiti Teknologi Malaysia, 2004
Main Authors: | , , , |
---|---|
Format: | |
Language: | may |
Published: |
2004
|
Subjects: |
_version_ | 1826448418992553984 |
---|---|
author | Putut Marwoto, 1963- Samsudi Sakrani, supervisor Bakar Ismail, supervisor Fakulti Sains |
author_facet | Putut Marwoto, 1963- Samsudi Sakrani, supervisor Bakar Ismail, supervisor Fakulti Sains |
author_sort | Putut Marwoto, 1963- |
collection | OCEAN |
description | Thesis (Ph.D (Fizik)) - Universiti Teknologi Malaysia, 2004 |
first_indexed | 2024-03-05T11:25:39Z |
format | |
id | KOHA-OAI-TEST:458589 |
institution | Universiti Teknologi Malaysia - OCEAN |
language | may |
last_indexed | 2024-03-05T11:25:39Z |
publishDate | 2004 |
record_format | dspace |
spelling | KOHA-OAI-TEST:4585892020-12-19T17:16:46ZPembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) / Putut Marwoto, 1963- Samsudi Sakrani, supervisor Bakar Ismail, supervisor Fakulti Sains 2004mayThesis (Ph.D (Fizik)) - Universiti Teknologi Malaysia, 2004Includes bibliographical referencesSPSLChemical vapor depositionThin films |
spellingShingle | Chemical vapor deposition Thin films Putut Marwoto, 1963- Samsudi Sakrani, supervisor Bakar Ismail, supervisor Fakulti Sains Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) / |
title | Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) / |
title_full | Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) / |
title_fullStr | Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) / |
title_full_unstemmed | Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) / |
title_short | Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) / |
title_sort | pembangunan reaktor dc pecvd dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen a c h |
topic | Chemical vapor deposition Thin films |
work_keys_str_mv | AT pututmarwoto1963 pembangunanreaktordcpecvddankajianstrukturfilemtipiskarbonamorfusterhidrogenach AT samsudisakranisupervisor pembangunanreaktordcpecvddankajianstrukturfilemtipiskarbonamorfusterhidrogenach AT bakarismailsupervisor pembangunanreaktordcpecvddankajianstrukturfilemtipiskarbonamorfusterhidrogenach AT fakultisains pembangunanreaktordcpecvddankajianstrukturfilemtipiskarbonamorfusterhidrogenach |