Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) /

Thesis (Ph.D (Fizik)) - Universiti Teknologi Malaysia, 2004

Bibliographic Details
Main Authors: Putut Marwoto, 1963-, Samsudi Sakrani, supervisor, Bakar Ismail, supervisor, Fakulti Sains
Format:
Language:may
Published: 2004
Subjects:
_version_ 1826448418992553984
author Putut Marwoto, 1963-
Samsudi Sakrani, supervisor
Bakar Ismail, supervisor
Fakulti Sains
author_facet Putut Marwoto, 1963-
Samsudi Sakrani, supervisor
Bakar Ismail, supervisor
Fakulti Sains
author_sort Putut Marwoto, 1963-
collection OCEAN
description Thesis (Ph.D (Fizik)) - Universiti Teknologi Malaysia, 2004
first_indexed 2024-03-05T11:25:39Z
format
id KOHA-OAI-TEST:458589
institution Universiti Teknologi Malaysia - OCEAN
language may
last_indexed 2024-03-05T11:25:39Z
publishDate 2004
record_format dspace
spelling KOHA-OAI-TEST:4585892020-12-19T17:16:46ZPembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) / Putut Marwoto, 1963- Samsudi Sakrani, supervisor Bakar Ismail, supervisor Fakulti Sains 2004mayThesis (Ph.D (Fizik)) - Universiti Teknologi Malaysia, 2004Includes bibliographical referencesSPSLChemical vapor depositionThin films
spellingShingle Chemical vapor deposition
Thin films
Putut Marwoto, 1963-
Samsudi Sakrani, supervisor
Bakar Ismail, supervisor
Fakulti Sains
Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) /
title Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) /
title_full Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) /
title_fullStr Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) /
title_full_unstemmed Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) /
title_short Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) /
title_sort pembangunan reaktor dc pecvd dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen a c h
topic Chemical vapor deposition
Thin films
work_keys_str_mv AT pututmarwoto1963 pembangunanreaktordcpecvddankajianstrukturfilemtipiskarbonamorfusterhidrogenach
AT samsudisakranisupervisor pembangunanreaktordcpecvddankajianstrukturfilemtipiskarbonamorfusterhidrogenach
AT bakarismailsupervisor pembangunanreaktordcpecvddankajianstrukturfilemtipiskarbonamorfusterhidrogenach
AT fakultisains pembangunanreaktordcpecvddankajianstrukturfilemtipiskarbonamorfusterhidrogenach