Modelling of mems fabry perot pressure sensor using cmos fabrication process [electronic resources] /

Modelling of mems fabry perot pressure sensor using cmos fabrication process [electronic resources] /

Project Paper (Sarjana Muda) - Universiti Teknologi Malaysia, 2012

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Low, Ye Ling 1988, Fakulti Kejuruteraan Elektrik
التنسيق:
اللغة:eng
منشور في: 2012
الوصف
الملخص:Project Paper (Sarjana Muda) - Universiti Teknologi Malaysia, 2012

مواد مشابهة