System-level modeling of MEMS /

Includes bibliographical references and index

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون:	Bechtold, T. (Tamara), Schrag, Gabriele, Feng, Lihong
التنسيق:
اللغة:	eng
منشور في:	Weinheim : Wiley-VCH, 2013
الموضوعات:	Microelectromechanical systems

مواد مشابهة