System-level modeling of MEMS /

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Includes bibliographical references and index

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Bechtold, T. (Tamara), Schrag, Gabriele, Feng, Lihong
Format:
Sprache:eng
Veröffentlicht: Weinheim : Wiley-VCH, 2013
Schlagworte:
Microelectromechanical systems

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