System-level modeling of MEMS /

Includes bibliographical references and index

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριοι συγγραφείς: Bechtold, T. (Tamara), Schrag, Gabriele, Feng, Lihong
Μορφή:
Γλώσσα:eng
Έκδοση: Weinheim : Wiley-VCH, 2013
Θέματα: