System-level modeling of MEMS /

Includes bibliographical references and index

Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Bechtold, T. (Tamara), Schrag, Gabriele, Feng, Lihong
Formato:
Lenguaje:	eng
Publicado:	Weinheim : Wiley-VCH, 2013
Materias:	Microelectromechanical systems

Ejemplares similares