System-level modeling of MEMS /

Includes bibliographical references and index

Xehetasun bibliografikoak
Egile Nagusiak:	Bechtold, T. (Tamara), Schrag, Gabriele, Feng, Lihong
Formatua:
Hizkuntza:	eng
Argitaratua:	Weinheim : Wiley-VCH, 2013
Gaiak:	Microelectromechanical systems

Antzeko izenburuak