System-level modeling of MEMS /

Includes bibliographical references and index

מידע ביבליוגרפי
Main Authors: Bechtold, T. (Tamara), Schrag, Gabriele, Feng, Lihong
פורמט:
שפה:eng
יצא לאור: Weinheim : Wiley-VCH, 2013
נושאים: