System-level modeling of MEMS /

Includes bibliographical references and index

ग्रंथसूची विवरण
मुख्य लेखकों: Bechtold, T. (Tamara), Schrag, Gabriele, Feng, Lihong
स्वरूप:
भाषा:eng
प्रकाशित: Weinheim : Wiley-VCH, 2013
विषय: