System-level modeling of MEMS /

Includes bibliographical references and index

Библиографические подробности
Главные авторы: Bechtold, T. (Tamara), Schrag, Gabriele, Feng, Lihong
Формат:
Язык:eng
Опубликовано: Weinheim : Wiley-VCH, 2013
Предметы: