System-level modeling of MEMS /

Includes bibliographical references and index

Chi tiết về thư mục
Những tác giả chính: Bechtold, T. (Tamara), Schrag, Gabriele, Feng, Lihong
Định dạng:
Ngôn ngữ:eng
Được phát hành: Weinheim : Wiley-VCH, 2013
Những chủ đề: