Design, modeling and control of nanopositioning systems /

Includes bibliographical references and index

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون:	Fleming, Andrew J., Leang, Kam K.
التنسيق:
اللغة:	eng
منشور في:	Cham : Springer , c201
الموضوعات:	Nanotechnology Nanoelectromechanical systems

مواد مشابهة