Design, modeling and control of nanopositioning systems /

Includes bibliographical references and index

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Fleming, Andrew J., Leang, Kam K.
Format:
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Cham : Springer , c201
Schlagworte:	Nanotechnology Nanoelectromechanical systems

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