Design, modeling and control of nanopositioning systems /

Design, modeling and control of nanopositioning systems /

Includes bibliographical references and index

Бібліографічні деталі
Автори: Fleming, Andrew J., Leang, Kam K.
Формат:
Мова:eng
Опубліковано: Cham : Springer , c201
Предмети:
Nanotechnology
Nanoelectromechanical systems

Схожі ресурси