Influencia del tratamiento térmico en la cristalización y rugosidad de películas delgadas de LiNbO3 depositadas por el método “Spin Coating” - Zaghete, M. A.; Cilense, M.; Cavalheiro, A. A.; Giménez, R.; González, A. H. M.; Varela, J. A.; Zirpoli, A.; Stojanovic, B. (Boletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio, 2001)
Lithium niobate (LiNbO3) thin films with 1/1 stoichiometry were prepared by a spin-coating from polymeric precursor method. The films deposited on silicon (100) substrates, were thermally treated from 400° to 600°C for 3 hours in order to study the influence of thermal treatment on the crystallinity, microstructure, grain size and roughness. X-ray diffraction (XRD) results showed that LiNbO3 phase crystallizes at low temperature (400°C). It was observed by scanning electron microscopy (SEM) that it is possible to obtain dense thin films at temperatures around 500°C. The atomic force microscopy (AFM) results showed that the grain size and roughness are strongly influenced by the annealing temperature. Películas delgadas de niobato de litio (LiNbO3) con estequiometria 1/1 han sido preparadas por el proceso “spin-coating” utilizándose precursores poliméricos. Las capas depositadas en sustratos de silicio (100) han sido tratadas térmicamente entre 400°C y 600°C durante 3 horas. El objetivo ha sido estudiar como el tratamiento térmico influye en la cristalinidad, microestructura, tamaño de granos y rugosidad de as películas. La cristalización de la fase LiNbO3 ocurre a bajas temperaturas (400ϒC), como demuestran los resultados de análisis por difracción de rayos-X (DRX) obtenidos para las películas. Los resultados por MEB posibilitaron la conclusión de que a temperaturas alrededor de 500°C se obtienen películas delgadas densas. Por su turno, el tamaño de granos y rugosidad son muy afectados por la temperatura de calentamiento, siendo esta conclusión posible por los análisis por MFA.