SENSOR GAS BERBASIS FILM TIPIS DENGAN KONFIGURASI TRANSISTOR EFEK MEDAN (FET) UNTUK DETEKSI GAS CO
Pembuatan dan karakterisasi Transistor Efek Medan (FET) berbasis film tipis dengan struktur bottom-contact dan panjang channel 100 ?m untuk aplikasi sensor gas. Pembuatan FET dengan cara: permulaan dilakukan pencucian substrat Si/SiO 2 dengan etanol dalam ultrasonic cleaner, kemudian dilakukan pende...
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | Indonesian |
| Published: |
Universitas Negeri Semarang
2013-02-01
|
| Series: | Sainteknol |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://journal.unnes.ac.id/nju/index.php/sainteknol/article/view/5578 |
| _version_ | 1818130380928057344 |
|---|---|
| author | Sujarwata Sujarwata Putut Marwoto |
| author_facet | Sujarwata Sujarwata Putut Marwoto |
| author_sort | Sujarwata Sujarwata |
| collection | DOAJ |
| description | Pembuatan dan karakterisasi Transistor Efek Medan (FET) berbasis film tipis dengan struktur bottom-contact dan panjang channel 100 ?m untuk aplikasi sensor gas. Pembuatan FET dengan cara: permulaan dilakukan pencucian substrat Si/SiO 2 dengan etanol dalam ultrasonic cleaner, kemudian dilakukan pendeposisian elektroda source/ drain dengan metode penguapan hampa udara dan teknik lithography. Selanjutnya dilakukan deposisi film tipis CuPc diantara source/drain sebagai panjang channel dan elektrode gate. Karakteristik FET, untuk daerah aktif untuk V DS (2,80 s/d 3,42) V dan kuat arus I (0,00095 s/d 0,00169) A. FET akan aktif beroperasi hanya diperlukan tegangan V DS (2,79 V s/d 3,43 V) dan dengan ukuran sangat kecil ( 1,5 mm x 3,1 mm ) serta jarak antara S ke D adalah 100 ?m. Aplikasi sensor gas telah dilakukan untuk mendeteksi gas CO, diperoleh hasil untuk response time 90 detik dan recovery time 120 detik. DS |
| first_indexed | 2024-12-11T08:04:08Z |
| format | Article |
| id | doaj.art-565ca4302f0b40bcb1c65932a1da8004 |
| institution | Directory Open Access Journal |
| issn | 0216-4566 2527-3604 |
| language | Indonesian |
| last_indexed | 2024-12-11T08:04:08Z |
| publishDate | 2013-02-01 |
| publisher | Universitas Negeri Semarang |
| record_format | Article |
| series | Sainteknol |
| spelling | doaj.art-565ca4302f0b40bcb1c65932a1da80042022-12-22T01:15:03ZindUniversitas Negeri SemarangSainteknol0216-45662527-36042013-02-01112SENSOR GAS BERBASIS FILM TIPIS DENGAN KONFIGURASI TRANSISTOR EFEK MEDAN (FET) UNTUK DETEKSI GAS COSujarwata Sujarwata0Putut Marwoto1Jurusan Fisika, Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Universitas Negeri SemarangJurusan Fisika, Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Universitas Negeri SemarangPembuatan dan karakterisasi Transistor Efek Medan (FET) berbasis film tipis dengan struktur bottom-contact dan panjang channel 100 ?m untuk aplikasi sensor gas. Pembuatan FET dengan cara: permulaan dilakukan pencucian substrat Si/SiO 2 dengan etanol dalam ultrasonic cleaner, kemudian dilakukan pendeposisian elektroda source/ drain dengan metode penguapan hampa udara dan teknik lithography. Selanjutnya dilakukan deposisi film tipis CuPc diantara source/drain sebagai panjang channel dan elektrode gate. Karakteristik FET, untuk daerah aktif untuk V DS (2,80 s/d 3,42) V dan kuat arus I (0,00095 s/d 0,00169) A. FET akan aktif beroperasi hanya diperlukan tegangan V DS (2,79 V s/d 3,43 V) dan dengan ukuran sangat kecil ( 1,5 mm x 3,1 mm ) serta jarak antara S ke D adalah 100 ?m. Aplikasi sensor gas telah dilakukan untuk mendeteksi gas CO, diperoleh hasil untuk response time 90 detik dan recovery time 120 detik. DShttp://journal.unnes.ac.id/nju/index.php/sainteknol/article/view/5578deposisi, film tipis, channel, sensor gas, FET |
| spellingShingle | Sujarwata Sujarwata Putut Marwoto SENSOR GAS BERBASIS FILM TIPIS DENGAN KONFIGURASI TRANSISTOR EFEK MEDAN (FET) UNTUK DETEKSI GAS CO Sainteknol deposisi, film tipis, channel, sensor gas, FET |
| title | SENSOR GAS BERBASIS FILM TIPIS DENGAN KONFIGURASI TRANSISTOR EFEK MEDAN (FET) UNTUK DETEKSI GAS CO |
| title_full | SENSOR GAS BERBASIS FILM TIPIS DENGAN KONFIGURASI TRANSISTOR EFEK MEDAN (FET) UNTUK DETEKSI GAS CO |
| title_fullStr | SENSOR GAS BERBASIS FILM TIPIS DENGAN KONFIGURASI TRANSISTOR EFEK MEDAN (FET) UNTUK DETEKSI GAS CO |
| title_full_unstemmed | SENSOR GAS BERBASIS FILM TIPIS DENGAN KONFIGURASI TRANSISTOR EFEK MEDAN (FET) UNTUK DETEKSI GAS CO |
| title_short | SENSOR GAS BERBASIS FILM TIPIS DENGAN KONFIGURASI TRANSISTOR EFEK MEDAN (FET) UNTUK DETEKSI GAS CO |
| title_sort | sensor gas berbasis film tipis dengan konfigurasi transistor efek medan fet untuk deteksi gas co |
| topic | deposisi, film tipis, channel, sensor gas, FET |
| url | http://journal.unnes.ac.id/nju/index.php/sainteknol/article/view/5578 |
| work_keys_str_mv | AT sujarwatasujarwata sensorgasberbasisfilmtipisdengankonfigurasitransistorefekmedanfetuntukdeteksigasco AT pututmarwoto sensorgasberbasisfilmtipisdengankonfigurasitransistorefekmedanfetuntukdeteksigasco |