Atomic Layer Deposition of ScF3 and ScxAlyFz Thin Films - Elisa Atosuo; Mikko J. Heikkilä; Johanna Majlund; Leevi Pesonen; Miia Mäntymäki; Kenichiro Mizohata; Markku Leskelä; Mikko Ritala (ACS Omega, 2024)