Влияние параметров ионного осаждения в импульсном режиме на характеристики алмазоподобного покрытия
Теоретически исследуется осаждение алмазоподобного покрытия в импульсном режиме, в котором осаждаемый поток ионов плазменной среды с энергией E0 ~ (20÷200) эВ модифицируется путем наложения импульсного потенциала U ≤ 1000 В. Показано, что внутренние напряжения в алмазоподобном покрытии (АПП) при имп...
| Main Authors: | , , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
V.N. Karazin Kharkiv National University Publishing
2012-11-01
|
| Series: | East European Journal of Physics |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://periodicals.karazin.ua/eejp/article/view/13679 |
| _version_ | 1811189974292234240 |
|---|---|
| author | V. Vasylyev Alexandr Kalinichenko Volodimir Strel’nitskij |
| author_facet | V. Vasylyev Alexandr Kalinichenko Volodimir Strel’nitskij |
| author_sort | V. Vasylyev |
| collection | DOAJ |
| description | Теоретически исследуется осаждение алмазоподобного покрытия в импульсном режиме, в котором осаждаемый поток ионов плазменной среды с энергией E0 ~ (20÷200) эВ модифицируется путем наложения импульсного потенциала U ≤ 1000 В. Показано, что внутренние напряжения в алмазоподобном покрытии (АПП) при импульсном режиме осаждения могут быть уменьшены в несколько раз без существенного уменьшения концентрации sp3-связанного углерода, по сравнению с АПП, полученным в стационарном режиме осаждения при энергии ионов E0. Предложен метод оптимизации параметров импульсного режима, основанный на анализе положения траекторий термоупругих пиков ионов на фазовой P,T-диаграмме углерода. |
| first_indexed | 2024-04-11T14:43:32Z |
| format | Article |
| id | doaj.art-65e7028c69d0427fa462de6f1a7ea969 |
| institution | Directory Open Access Journal |
| issn | 2312-4334 2312-4539 |
| language | English |
| last_indexed | 2024-04-11T14:43:32Z |
| publishDate | 2012-11-01 |
| publisher | V.N. Karazin Kharkiv National University Publishing |
| record_format | Article |
| series | East European Journal of Physics |
| spelling | doaj.art-65e7028c69d0427fa462de6f1a7ea9692022-12-22T04:17:46ZengV.N. Karazin Kharkiv National University PublishingEast European Journal of Physics2312-43342312-45392012-11-011025(4)Влияние параметров ионного осаждения в импульсном режиме на характеристики алмазоподобного покрытияV. Vasylyev0Alexandr Kalinichenko1Volodimir Strel’nitskij2Национальный научный центр «Харьковский физико-технический институт», Харьков, УкраинаНациональный научный центр «Харьковский физико-технический институт», Харьков, УкраинаНациональный научный центр «Харьковский физико-технический институт», Харьков, УкраинаТеоретически исследуется осаждение алмазоподобного покрытия в импульсном режиме, в котором осаждаемый поток ионов плазменной среды с энергией E0 ~ (20÷200) эВ модифицируется путем наложения импульсного потенциала U ≤ 1000 В. Показано, что внутренние напряжения в алмазоподобном покрытии (АПП) при импульсном режиме осаждения могут быть уменьшены в несколько раз без существенного уменьшения концентрации sp3-связанного углерода, по сравнению с АПП, полученным в стационарном режиме осаждения при энергии ионов E0. Предложен метод оптимизации параметров импульсного режима, основанный на анализе положения траекторий термоупругих пиков ионов на фазовой P,T-диаграмме углерода.http://periodicals.karazin.ua/eejp/article/view/13679алмазоподобное покрытиеплазменно-ионное осаждениевнутреннее напряжениенелокальный термоупругий пик иона |
| spellingShingle | V. Vasylyev Alexandr Kalinichenko Volodimir Strel’nitskij Влияние параметров ионного осаждения в импульсном режиме на характеристики алмазоподобного покрытия East European Journal of Physics алмазоподобное покрытие плазменно-ионное осаждение внутреннее напряжение нелокальный термоупругий пик иона |
| title | Влияние параметров ионного осаждения в импульсном режиме на характеристики алмазоподобного покрытия |
| title_full | Влияние параметров ионного осаждения в импульсном режиме на характеристики алмазоподобного покрытия |
| title_fullStr | Влияние параметров ионного осаждения в импульсном режиме на характеристики алмазоподобного покрытия |
| title_full_unstemmed | Влияние параметров ионного осаждения в импульсном режиме на характеристики алмазоподобного покрытия |
| title_short | Влияние параметров ионного осаждения в импульсном режиме на характеристики алмазоподобного покрытия |
| title_sort | влияние параметров ионного осаждения в импульсном режиме на характеристики алмазоподобного покрытия |
| topic | алмазоподобное покрытие плазменно-ионное осаждение внутреннее напряжение нелокальный термоупругий пик иона |
| url | http://periodicals.karazin.ua/eejp/article/view/13679 |
| work_keys_str_mv | AT vvasylyev vliânieparametrovionnogoosaždeniâvimpulʹsnomrežimenaharakteristikialmazopodobnogopokrytiâ AT alexandrkalinichenko vliânieparametrovionnogoosaždeniâvimpulʹsnomrežimenaharakteristikialmazopodobnogopokrytiâ AT volodimirstrelnitskij vliânieparametrovionnogoosaždeniâvimpulʹsnomrežimenaharakteristikialmazopodobnogopokrytiâ |