Влияние параметров ионного осаждения в импульсном режиме на характеристики алмазоподобного покрытия
Теоретически исследуется осаждение алмазоподобного покрытия в импульсном режиме, в котором осаждаемый поток ионов плазменной среды с энергией E0 ~ (20÷200) эВ модифицируется путем наложения импульсного потенциала U ≤ 1000 В. Показано, что внутренние напряжения в алмазоподобном покрытии (АПП) при имп...
Main Authors: | V. Vasylyev, Alexandr Kalinichenko, Volodimir Strel’nitskij |
---|---|
Format: | Article |
Language: | English |
Published: |
V.N. Karazin Kharkiv National University Publishing
2012-11-01
|
Series: | East European Journal of Physics |
Subjects: | |
Online Access: | http://periodicals.karazin.ua/eejp/article/view/13679 |
Similar Items
-
Selection of technologies for metal film application using physical deposition techniques
by: S. P. Glushko
Published: (2020-10-01) -
Никелевые покрытия c улучшенными адгезионными свойствами, осажденные на поверхности магниевого сплава МА2-1
by: Владислав Сергеевич Шендюков, et al.
Published: (2023-09-01) -
Petrochemistry and mineralogy of pumice from the Sarychev Peak Volcano, Matua Island, Central Kuril Island
by: V. M. Okrugin, et al.
Published: (2022-10-01) -
The importance of social memory in biblical texts
by: Roman Ostrovskyy
Published: (2020-03-01) -
DEVICE FOR INVESTIGATION OF MAGNETRON AND PULSED-LASER PLASMA
by: A. P. Burmakov, et al.
Published: (2015-04-01)