数字式自动程控气体微流量控制装置 - 黄国强 (Guangtongxin yanjiu, 1980)
<正> 随着科学技术的发展,在许多科研和生产工艺中越来越需要对微流量气体进行比较精确和稳定的控制。例如,在研制梯度光纤工艺中,为了得到折射率梯度分布的光导纤维,就需要对携带化学试剂的气体进行微流量控制,流量变化范围要求从每分钟几毫升到几百毫升。对于微流量气体,特别是流量为每分钟几十毫升以下的控制,目前不少单位还正在研究。我们在微流量的控制方面也作了一些探索和试验,并试制成“数字式自动程控气体微流量控制装置”。本装置没有采用改变阀门开度以控制流量的常规方法,我们自行设计了一种