Оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений
В работе проведен обзор современных дисковых молекулярных вакуумных насосов, представленных на рынке вакуумной техники. Изучен метод расчета быстроты откачки молекулярной ступени Twiss Torr, предложенный компанией Agilent Technologies. Отмечены его недостатки. С использованием разработанной авторами...
| Format: | Article |
|---|---|
| Language: | Russian |
| Published: |
MGTU im. N.È. Baumana
2016-06-01
|
| Series: | Mašiny i Ustanovki: Proektirovanie, Razrabotka i Èkspluataciâ |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://www.maplants-journal.ru/jour/article/view/7 |
| Summary: | В работе проведен обзор современных дисковых молекулярных вакуумных насосов, представленных на рынке вакуумной техники. Изучен метод расчета быстроты откачки молекулярной ступени Twiss Torr, предложенный компанией Agilent Technologies. Отмечены его недостатки. С использованием разработанной авторами ранее математической модели процесса откачки газа цилиндрическим молекулярным вакуумным насосом произведена оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений. Разработана программа расчета оптимальных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса. Представлены результаты расчетов и выявленные в ходе исследований рекомендации. DOI: 10.7463/aplts.0215.0781957 |
|---|---|
| ISSN: | 2412-592X |