Оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений
В работе проведен обзор современных дисковых молекулярных вакуумных насосов, представленных на рынке вакуумной техники. Изучен метод расчета быстроты откачки молекулярной ступени Twiss Torr, предложенный компанией Agilent Technologies. Отмечены его недостатки. С использованием разработанной авторами...
Format: | Article |
---|---|
Language: | Russian |
Published: |
MGTU im. N.È. Baumana
2016-06-01
|
Series: | Mašiny i Ustanovki: Proektirovanie, Razrabotka i Èkspluataciâ |
Subjects: | |
Online Access: | https://www.maplants-journal.ru/jour/article/view/7 |
_version_ | 1797877176399298560 |
---|---|
collection | DOAJ |
description | В работе проведен обзор современных дисковых молекулярных вакуумных насосов, представленных на рынке вакуумной техники. Изучен метод расчета быстроты откачки молекулярной ступени Twiss Torr, предложенный компанией Agilent Technologies. Отмечены его недостатки. С использованием разработанной авторами ранее математической модели процесса откачки газа цилиндрическим молекулярным вакуумным насосом произведена оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений. Разработана программа расчета оптимальных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса. Представлены результаты расчетов и выявленные в ходе исследований рекомендации. DOI: 10.7463/aplts.0215.0781957 |
first_indexed | 2024-04-10T02:14:05Z |
format | Article |
id | doaj.art-8a95c32096264f04a77b4ca83ae68631 |
institution | Directory Open Access Journal |
issn | 2412-592X |
language | Russian |
last_indexed | 2024-04-10T02:14:05Z |
publishDate | 2016-06-01 |
publisher | MGTU im. N.È. Baumana |
record_format | Article |
series | Mašiny i Ustanovki: Proektirovanie, Razrabotka i Èkspluataciâ |
spelling | doaj.art-8a95c32096264f04a77b4ca83ae686312023-03-13T08:32:29ZrusMGTU im. N.È. BaumanaMašiny i Ustanovki: Proektirovanie, Razrabotka i Èkspluataciâ2412-592X2016-06-010225346Оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений01МГТУ им. Н.Э. БауманаМГТУ им. Н.Э. БауманаВ работе проведен обзор современных дисковых молекулярных вакуумных насосов, представленных на рынке вакуумной техники. Изучен метод расчета быстроты откачки молекулярной ступени Twiss Torr, предложенный компанией Agilent Technologies. Отмечены его недостатки. С использованием разработанной авторами ранее математической модели процесса откачки газа цилиндрическим молекулярным вакуумным насосом произведена оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений. Разработана программа расчета оптимальных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса. Представлены результаты расчетов и выявленные в ходе исследований рекомендации. DOI: 10.7463/aplts.0215.0781957https://www.maplants-journal.ru/jour/article/view/7математическая модельмолекулярный вакуумный насосбыстрота откачкипрограмма расчета |
spellingShingle | Оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений Mašiny i Ustanovki: Proektirovanie, Razrabotka i Èkspluataciâ математическая модель молекулярный вакуумный насос быстрота откачки программа расчета |
title | Оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений |
title_full | Оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений |
title_fullStr | Оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений |
title_full_unstemmed | Оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений |
title_short | Оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений |
title_sort | оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений |
topic | математическая модель молекулярный вакуумный насос быстрота откачки программа расчета |
url | https://www.maplants-journal.ru/jour/article/view/7 |