Оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений

В работе проведен обзор современных дисковых молекулярных вакуумных насосов, представленных на рынке вакуумной техники. Изучен метод расчета быстроты откачки молекулярной ступени Twiss Torr, предложенный компанией Agilent Technologies. Отмечены его недостатки. С использованием разработанной авторами...

Full description

Bibliographic Details
Format: Article
Language:Russian
Published: MGTU im. N.È. Baumana 2016-06-01
Series:Mašiny i Ustanovki: Proektirovanie, Razrabotka i Èkspluataciâ
Subjects:
Online Access:https://www.maplants-journal.ru/jour/article/view/7
_version_ 1797877176399298560
collection DOAJ
description В работе проведен обзор современных дисковых молекулярных вакуумных насосов, представленных на рынке вакуумной техники. Изучен метод расчета быстроты откачки молекулярной ступени Twiss Torr, предложенный компанией Agilent Technologies. Отмечены его недостатки. С использованием разработанной авторами ранее математической модели процесса откачки газа цилиндрическим молекулярным вакуумным насосом произведена оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений. Разработана программа расчета оптимальных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса. Представлены результаты расчетов и выявленные в ходе исследований рекомендации. DOI: 10.7463/aplts.0215.0781957
first_indexed 2024-04-10T02:14:05Z
format Article
id doaj.art-8a95c32096264f04a77b4ca83ae68631
institution Directory Open Access Journal
issn 2412-592X
language Russian
last_indexed 2024-04-10T02:14:05Z
publishDate 2016-06-01
publisher MGTU im. N.È. Baumana
record_format Article
series Mašiny i Ustanovki: Proektirovanie, Razrabotka i Èkspluataciâ
spelling doaj.art-8a95c32096264f04a77b4ca83ae686312023-03-13T08:32:29ZrusMGTU im. N.È. BaumanaMašiny i Ustanovki: Proektirovanie, Razrabotka i Èkspluataciâ2412-592X2016-06-010225346Оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений01МГТУ им. Н.Э. БауманаМГТУ им. Н.Э. БауманаВ работе проведен обзор современных дисковых молекулярных вакуумных насосов, представленных на рынке вакуумной техники. Изучен метод расчета быстроты откачки молекулярной ступени Twiss Torr, предложенный компанией Agilent Technologies. Отмечены его недостатки. С использованием разработанной авторами ранее математической модели процесса откачки газа цилиндрическим молекулярным вакуумным насосом произведена оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений. Разработана программа расчета оптимальных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса. Представлены результаты расчетов и выявленные в ходе исследований рекомендации. DOI: 10.7463/aplts.0215.0781957https://www.maplants-journal.ru/jour/article/view/7математическая модельмолекулярный вакуумный насосбыстрота откачкипрограмма расчета
spellingShingle Оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений
Mašiny i Ustanovki: Proektirovanie, Razrabotka i Èkspluataciâ
математическая модель
молекулярный вакуумный насос
быстрота откачки
программа расчета
title Оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений
title_full Оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений
title_fullStr Оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений
title_full_unstemmed Оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений
title_short Оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений
title_sort оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений
topic математическая модель
молекулярный вакуумный насос
быстрота откачки
программа расчета
url https://www.maplants-journal.ru/jour/article/view/7