Особенности массопереноса при ионной имплантации
Исследованы продукты реакции, полученные при ионной имплантации азота, кислорода и фосфора в вольфрамовую мишень. Выяснены условия создания новых соединений при высокодозной имплантации, приводящей к процессам быстрого массопереноса ионов в материал мишени. Установлено, что ионная имплантация азота...
| Main Authors: | , , , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Altai State University
2019-09-01
|
| Series: | Известия Алтайского государственного университета |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://izvestiya.asu.ru/article/view/6386 |
| _version_ | 1797564821587099648 |
|---|---|
| author | Риза Батырхановна Абылкалыкова Людмила Иосифовна Квеглис Бауржан Корабаевич Рахадилов Гульсум Сафуановна Бектасова |
| author_facet | Риза Батырхановна Абылкалыкова Людмила Иосифовна Квеглис Бауржан Корабаевич Рахадилов Гульсум Сафуановна Бектасова |
| author_sort | Риза Батырхановна Абылкалыкова |
| collection | DOAJ |
| description | Исследованы продукты реакции, полученные при ионной имплантации азота, кислорода и фосфора в вольфрамовую мишень. Выяснены условия создания новых соединений при высокодозной имплантации, приводящей к процессам быстрого массопереноса ионов в материал мишени. Установлено, что ионная имплантация азота в вольфрам приводит к возникновению фазы внедрения W2N с ГЦК-структурой; имплантация кислорода — к образованию фазы с плотноупакованной ГЦК-структурой, близкой по структуре и параметрам к W20; фосфора — к образованию фосфида вольфрама W2P с орторомбической структурой после дополнительного отжига при температурах, превышающих 800-900 0С. Сделана оценка локального давления потока ионов на поверхность мишени, которое приводит к локальному искривлению кристаллической решетки, благодаря чему возможен быстрый массоперенос имплантированных ионов в материале мишени.
Образование фаз внедрения при ионной имплантации является результатом локализации сдвиговой деформации в условиях ускоренного массопереноса. В условиях высокодозной ионной имплантации формируются высоконеравновесные пересыщенные твердые растворы, а также высокодефектные структурно-неравновесные состояния с высокой кривизной кристаллической решетки. |
| first_indexed | 2024-03-10T19:02:25Z |
| format | Article |
| id | doaj.art-9f094ce1bbc8435ebc052b99c993a983 |
| institution | Directory Open Access Journal |
| issn | 1561-9443 1561-9451 |
| language | English |
| last_indexed | 2024-03-10T19:02:25Z |
| publishDate | 2019-09-01 |
| publisher | Altai State University |
| record_format | Article |
| series | Известия Алтайского государственного университета |
| spelling | doaj.art-9f094ce1bbc8435ebc052b99c993a9832023-11-20T04:19:43ZengAltai State UniversityИзвестия Алтайского государственного университета1561-94431561-94512019-09-014(108)111710.14258/izvasu(2019)4-016386Особенности массопереноса при ионной имплантацииРиза Батырхановна Абылкалыкова0Людмила Иосифовна Квеглис1Бауржан Корабаевич Рахадилов2Гульсум Сафуановна Бектасова3Восточно-Казахстанский государственный университет им. С. Аманжолова (Усть-Каменогорск, Казахстан)Восточно-Казахстанский государственный университет им. С. Аманжолова (Усть-Каменогорск, Казахстан)Восточно-Казахстанский государственный университет им. С. Аманжолова (Усть-Каменогорск, Казахстан)Восточно-Казахстанский государственный университет им. С. Аманжолова (Усть-Каменогорск, Казахстан)Исследованы продукты реакции, полученные при ионной имплантации азота, кислорода и фосфора в вольфрамовую мишень. Выяснены условия создания новых соединений при высокодозной имплантации, приводящей к процессам быстрого массопереноса ионов в материал мишени. Установлено, что ионная имплантация азота в вольфрам приводит к возникновению фазы внедрения W2N с ГЦК-структурой; имплантация кислорода — к образованию фазы с плотноупакованной ГЦК-структурой, близкой по структуре и параметрам к W20; фосфора — к образованию фосфида вольфрама W2P с орторомбической структурой после дополнительного отжига при температурах, превышающих 800-900 0С. Сделана оценка локального давления потока ионов на поверхность мишени, которое приводит к локальному искривлению кристаллической решетки, благодаря чему возможен быстрый массоперенос имплантированных ионов в материале мишени. Образование фаз внедрения при ионной имплантации является результатом локализации сдвиговой деформации в условиях ускоренного массопереноса. В условиях высокодозной ионной имплантации формируются высоконеравновесные пересыщенные твердые растворы, а также высокодефектные структурно-неравновесные состояния с высокой кривизной кристаллической решетки.http://izvestiya.asu.ru/article/view/6386ионная имплантациялокальное давлениебыстрый массопереносфазы внедрения |
| spellingShingle | Риза Батырхановна Абылкалыкова Людмила Иосифовна Квеглис Бауржан Корабаевич Рахадилов Гульсум Сафуановна Бектасова Особенности массопереноса при ионной имплантации Известия Алтайского государственного университета ионная имплантация локальное давление быстрый массоперенос фазы внедрения |
| title | Особенности массопереноса при ионной имплантации |
| title_full | Особенности массопереноса при ионной имплантации |
| title_fullStr | Особенности массопереноса при ионной имплантации |
| title_full_unstemmed | Особенности массопереноса при ионной имплантации |
| title_short | Особенности массопереноса при ионной имплантации |
| title_sort | особенности массопереноса при ионной имплантации |
| topic | ионная имплантация локальное давление быстрый массоперенос фазы внедрения |
| url | http://izvestiya.asu.ru/article/view/6386 |
| work_keys_str_mv | AT rizabatyrhanovnaabylkalykova osobennostimassoperenosapriionnojimplantacii AT lûdmilaiosifovnakveglis osobennostimassoperenosapriionnojimplantacii AT bauržankorabaevičrahadilov osobennostimassoperenosapriionnojimplantacii AT gulʹsumsafuanovnabektasova osobennostimassoperenosapriionnojimplantacii |