Дослідження динамічного діапазону кремнієвих фотодіодів для застосування в оптичній пірометрії
Оптична пірометрія є одним з основних безконтактних методів для прецизійного вимірювання температури напівпровідникових підкладок для технології газофазної епітаксії з металоорганічних сполук (ГФЕ МОС). Вимоги до фотоелементу пірометра обумовлені особливістю процесу. У пірометрі кремнієвий фотодіод...
| Những tác giả chính: | , |
|---|---|
| Định dạng: | Bài viết |
| Ngôn ngữ: | English |
| Được phát hành: |
Igor Sikorsky Kyiv Polytechnic Institute
2023-12-01
|
| Loạt: | Mìkrosistemi, Elektronìka ta Akustika |
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | http://elc.kpi.ua/article/view/284933 |